金融界2025年8月18日音讯,国家知识产权局信息数据显现,ASM IP私家控股有限公司请求一项名为“用于堆积准金属层的办法和体系”的专利,揭露号CN120485739A,请求日期为2025年02月。
专利摘要显现,本揭露触及用于经过循环堆积进程在衬底上堆积准金属材料的办法和设备。该办法有:在反响室中供给衬底,以气相将第一前体供给到反响室中;以及以气相将第二前体供给到反响室中,以在衬底上构成准金属材料。第一前体和第二前体中的至少一个包含准金属化合物。
金融界2025年8月18日音讯,国家知识产权局信息数据显现,ASM IP私家控股有限公司请求一项名为“用于堆积准金属层的办法和体系”的专利,揭露号CN120485739A,请求日期为2025年02月。
专利摘要显现,本揭露触及用于经过循环堆积进程在衬底上堆积准金属材料的办法和设备。该办法有:在反响室中供给衬底,以气相将第一前体供给到反响室中;以及以气相将第二前体供给到反响室中,以在衬底上构成准金属材料。第一前体和第二前体中的至少一个包含准金属化合物。